膜厚儀是薄膜厚度測量儀的簡稱，是一種用來在線并定量的測量透光或者半透光的各種薄膜厚度的儀器儀表，通常采用光干涉原理測量薄膜厚度。

　　膜厚儀的作用

　　可應(yīng)用于在線膜厚測量,測氧化物,SiNx,感光保護(hù)膜和半導(dǎo)體膜.也可以用來測量鍍?cè)阡?鋁,銅,陶瓷和塑料等上的粗糙膜層.薄膜表面或界面的反射光會(huì)與從基底的反射光相干涉,干涉的發(fā)生與膜厚及折光系數(shù)等有關(guān),因此可通過計(jì)算得到薄膜的厚度.光干涉法是一種無損,且快速的光學(xué)薄膜厚度測量技術(shù),薄膜測量系統(tǒng)采用光干涉原理測量薄膜厚度。

　　膜厚儀的特點(diǎn)：

　　1,可以測量多層膜中每一層的厚度

　　2,三維的厚度型貌

　　3,遠(yuǎn)程控制和在線測量

　　4,可做150mmor300mm的大范圍的掃描測試

　　5,豐富的材料庫:操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數(shù)據(jù),基本上的常用材料都包括在這個(gè)材料庫中.用戶也可以在材料庫中輸入沒有的材料.

　　6,軟件操作簡單,測速快:膜厚測量儀操作非常簡單,測量速度快:100ms-1s.

　　7,軟件帶有構(gòu)建材料結(jié)構(gòu)的拓展功能,可對(duì)單/多層薄膜數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析,可對(duì)薄膜材料進(jìn)行預(yù)先模擬設(shè)計(jì).

　　8,軟件帶有可升級(jí)的掃描功能,進(jìn)行薄膜二維的測試,并將結(jié)果以2D或3D的形式顯示.軟件其他的升級(jí)功能還包括在線分析軟件,遠(yuǎn)程控制模塊等

　　以上便是今天關(guān)于膜厚儀通常采用光干涉原理來測量薄膜厚度的全部分享了，希望對(duì)大家今后使用本設(shè)備能有幫助。